发布日期：2024-10-22 21:00 点击次数：168
方式称呼：磁控溅射镀膜机在线av 国产
方式编号：西交材招（2023）23
方式干系东谈主：陈波
方式干系电话：19582130176
采购单元干系面容：
采购单元：西安交通大学材料学院
采购干系东谈主：黄小燕 邮箱：huangxiaoyan@mail.xjtu.edu.cn
干系地址：西安市咸宁西路28号西安交通大学仲英楼A223室
一、采购方式的称呼、数目、简要规格形喜悦方式基本或者先容：
女同sex称呼：磁控溅射镀膜机
数目：1台
规格形容：1.真空腔室：遴选SUS304不锈钢制作，镀膜室内净尺寸:≥ L400×W440×H450；方箱式，配有前、后两个门，前门水平滑开式，便于手套箱内操作；后门为侧开式门，用于建立计帐珍爱；镀膜室需建树落寞机架，可在脱离手套箱要求下单独调试，与手套箱之间通过镀膜室前门框密封畅达，对接便捷、密封可靠；
2.真空系统：复合分子泵（抽速不小于1300L/S）+涡旋干泵（抽速不小于9L/S）+高真空阀门组合的高真空系统，数显复合真空计。
3.真空极限：≤6.0×10-5Pa（空载在线av 国产，经烘烤除气后）。
4.抽速：（空载）从大气抽至5.0×10-3Pa≤15min。
5.基片台：可承载210×210mm，提供相应尺寸的样品托，旋转：0～20转/分钟；基片台加热：室温～500±1℃，遴选镍铬加热器，欧美合集PID智能温控闭环控温。
6.ITO膜层不均匀性；100×100mm样品≤±5%，210×210mm界限内≤±20%；
检测及野心面容：多点测量，（最大值-最小值）/（最大值+最小值）×100%；
7.溅射靶及电源：不少于2只4英寸的磁控溅射靶，自动匹配射频电源功率500W不少于2台，直流脉冲溅射电源1KW不少于1台，偏压电源功率1KW不少于1台。
8.自动压控系统：Φ200mm，配0.1Torr薄膜规，成心于职责压力恒定，保抓镀膜时工艺压力踏实。
9.职责气路：氩、氧、氮量程界限不低于0～100/10/10sccm，气路不少于三路。
10.限度系统：需遴选PLC+触摸屏半自动限度，可完结自动一键式抽真空。
11.机架：铝合金外框包装一体化想象，下面配脚轮，便捷移动、定位。
12.扶持部件：
12.1冷却轮回水机1台，≥3P，水压0.2～0.3MPa，水温10～25℃，流量≥30L/min ；
12.2微型空气压缩机 1 台，排气量≥90L/min，储气罐容积≥38L(0.038 m³)，杂音: ≤68dB。
二、对供应商阅历要求（供应商阅历要求）：
（一） 供应商的阅历要求： 1. 妥贴《政府采购法》偏激实施条例对投标东谈主阅历的要求； 2. 具有落寞法东谈主阅历及干系证照，具有精湛信誉及协议推行智商，具有精湛资金、财务气象。 3. 供应商应为所提供居品的坐褥企业，或具有所提供坐褥企业出具的针对本方式的居品授权书。 4. 供应商不得被列入失信被实行东谈主、紧要税收违警案件当事东谈主名单、政府采购严重违警失信行径名单纪录。 5. 本方式不给与衔接体投标。 6. 其他要求： 本方式稀零要求在技艺规格观念中列明（二）供应商报名面容： 妥贴本公告要求的供应商，填写附件《供应商报名登记表》并由法定代表东谈主、委派代理东谈主区分署名并加盖单元公章后，彩色扫描成PDF文献后发送给采购单元干系东谈主邮箱。
三、采购文献的发售时分及场所等：
参议时分：2023年10月16日15点30分
场所：西安交通大学兴庆校区材料学院第四会议室（仲英楼A222）
取得参议文献时分: 2023年10月9日-10月13日18点
取得参议文献面容：报名审核通过的供应商由采购干系东谈主以邮件体式发送标书要求。
反映文献递交时分：2023年10月16日15点30分
反映文献递交地址：西安市咸宁西路28号西安交通大学仲英楼
反映文献开启时分： 2023年10月16日15点30分
反映文献开启场所：西安市咸宁西路28号西安交通大学仲英楼