发布日期:2024-10-22 21:00 点击次数:167
方式称呼:磁控溅射镀膜机在线av 国产
方式编号:西交材招(2023)23
方式干系东谈主:陈波
方式干系电话:19582130176
采购单元干系面容:
采购单元:西安交通大学材料学院
采购干系东谈主:黄小燕 邮箱:huangxiaoyan@mail.xjtu.edu.cn
干系地址:西安市咸宁西路28号西安交通大学仲英楼A223室
一、采购方式的称呼、数目、简要规格形喜悦方式基本或者先容:
女同sex称呼:磁控溅射镀膜机
数目:1台
规格形容:1.真空腔室:遴选SUS304不锈钢制作,镀膜室内净尺寸:≥ L400×W440×H450;方箱式,配有前、后两个门,前门水平滑开式,便于手套箱内操作;后门为侧开式门,用于建立计帐珍爱;镀膜室需建树落寞机架,可在脱离手套箱要求下单独调试,与手套箱之间通过镀膜室前门框密封畅达,对接便捷、密封可靠;
2.真空系统:复合分子泵(抽速不小于1300L/S)+涡旋干泵(抽速不小于9L/S)+高真空阀门组合的高真空系统,数显复合真空计。
3.真空极限:≤6.0×10-5Pa(空载在线av 国产,经烘烤除气后)。
4.抽速:(空载)从大气抽至5.0×10-3Pa≤15min。
5.基片台:可承载210×210mm,提供相应尺寸的样品托,旋转:0~20转/分钟;基片台加热:室温~500±1℃,遴选镍铬加热器,欧美合集PID智能温控闭环控温。
6.ITO膜层不均匀性;100×100mm样品≤±5%,210×210mm界限内≤±20%;
检测及野心面容:多点测量,(最大值-最小值)/(最大值+最小值)×100%;
7.溅射靶及电源:不少于2只4英寸的磁控溅射靶,自动匹配射频电源功率500W不少于2台,直流脉冲溅射电源1KW不少于1台,偏压电源功率1KW不少于1台。
8.自动压控系统:Φ200mm,配0.1Torr薄膜规,成心于职责压力恒定,保抓镀膜时工艺压力踏实。
9.职责气路:氩、氧、氮量程界限不低于0~100/10/10sccm,气路不少于三路。
10.限度系统:需遴选PLC+触摸屏半自动限度,可完结自动一键式抽真空。
11.机架:铝合金外框包装一体化想象,下面配脚轮,便捷移动、定位。
12.扶持部件:
12.1冷却轮回水机1台,≥3P,水压0.2~0.3MPa,水温10~25℃,流量≥30L/min ;
12.2微型空气压缩机 1 台,排气量≥90L/min,储气罐容积≥38L(0.038 m³),杂音: ≤68dB。
二、对供应商阅历要求(供应商阅历要求):
(一) 供应商的阅历要求: 1. 妥贴《政府采购法》偏激实施条例对投标东谈主阅历的要求; 2. 具有落寞法东谈主阅历及干系证照,具有精湛信誉及协议推行智商,具有精湛资金、财务气象。 3. 供应商应为所提供居品的坐褥企业,或具有所提供坐褥企业出具的针对本方式的居品授权书。 4. 供应商不得被列入失信被实行东谈主、紧要税收违警案件当事东谈主名单、政府采购严重违警失信行径名单纪录。 5. 本方式不给与衔接体投标。 6. 其他要求: 本方式稀零要求在技艺规格观念中列明(二)供应商报名面容: 妥贴本公告要求的供应商,填写附件《供应商报名登记表》并由法定代表东谈主、委派代理东谈主区分署名并加盖单元公章后,彩色扫描成PDF文献后发送给采购单元干系东谈主邮箱。
三、采购文献的发售时分及场所等:
参议时分:2023年10月16日15点30分
场所:西安交通大学兴庆校区材料学院第四会议室(仲英楼A222)
取得参议文献时分: 2023年10月9日-10月13日18点
取得参议文献面容:报名审核通过的供应商由采购干系东谈主以邮件体式发送标书要求。
反映文献递交时分:2023年10月16日15点30分
反映文献递交地址:西安市咸宁西路28号西安交通大学仲英楼
反映文献开启时分: 2023年10月16日15点30分
反映文献开启场所:西安市咸宁西路28号西安交通大学仲英楼